请教Si镀膜相关问题

ic5 · *发表于* 2004-5-11 18:46:00

请问大侠，从目前国内镀膜水平来说，给Si片镀增透膜的水平能到多少？（1300~1600nm）

目前常用的材料用什么？其折射率为多少？

期待您的回复！

mzxnhgs · *发表于* 2004-5-13 00:58:00

Nb2O5亦可

yin99 · *发表于* 2004-5-12 22:57:00

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ic5 · *发表于* 2004-5-14 17:56:00

我的膜系：Air/0.975H1.1L1.635H1.733L1.434H1.838L1.708H1.05L/Si

H为Ta2O5,n=2.135

L为SiO2, n=1.455

Si n=3.4

入射角为45度

ic5 · *发表于* 2004-5-14 17:56:00

上面的膜系是反了！特此更正！

yh15430 · *发表于* 2004-5-13 04:19:00

用 ZnS/MgF2双层膜及可搞定。透过率大约99％！

yin99 · *发表于* 2004-5-13 20:07:00

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ic5 · *发表于* 2004-5-13 21:15:00

谢谢大家！我都搞定了！只想了解一些这方面的内容！

yin99 · *发表于* 2004-5-14 01:29:00

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liyun · *发表于* 2004-5-14 16:58:00

不太懂，请大家别见笑。Si片不透明，度上去的膜怎样用？

liyun · *发表于* 2004-5-14 18:33:00

版主也不理人，哼。因为我们也在Si上镀膜，不过是研究导电性方面的，不太理解在Si上如何用增透膜。请斑竹赐教，谢谢。

yin99 · *发表于* 2004-5-14 20:20:00

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