激光干涉仪设计资料

hgwky · *发表于* 2010-8-9 22:28:03

我现在在研究移相式的斐索型激光干涉仪，对于干涉仪的参数设计原理不是很了解，例如设计指标是检测PV值是20分之一波长，RMS值10分之一波长，那么对于参考静的面型PV，和RMS值应为多少？还有在设计方面应注意什么等等一系列问题。请求高手帮助！

guilypp · *发表于* 2010-8-11 08:27:02

一看标题原来是引君入瓮的
没有人会告诉你的

qhw · *发表于* 2010-9-25 10:58:02

参考标准镜的要求我认为至少要在测量指标要求的3-5倍以上。不过好像国内外的都没有这样做，包括zygo的，本人曾生产zygo的机器一段时间，硬件的问题可以短我。设计方面的要注意的东西太多了。一点小东西都会让你琢磨几个月。

linbwn · *发表于* 2010-10-5 14:38:14

还以为可以学习呢一起学习吧

那么菽汐 · *发表于* 2010-11-8 20:05:18

wanchao507 · *发表于* 2011-1-16 15:00:17

jrwqz · *发表于* 2011-1-18 20:45:44

主镜精度决定了PV值

jrwqz · *发表于* 2011-1-18 20:46:46

RMS值可以给你说到1/100

hgwky · *发表于* 2011-2-24 21:25:14

回复 qhw 的帖子

大哥，能加你为好友吗？QQ:554804077 想问你干涉仪方面难的问题

virtuexu · *发表于* 2011-3-13 15:39:02

嗯~~

查尔斯 · *发表于* 2012-2-24 11:12:19

这不是一两句话能说清楚的。

kx17173 · *发表于* 2012-3-9 14:07:01

这个问题确实很专业，这里恐怕得不到答案

[原创] 激光干涉仪设计资料