ZnS膜层应力

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发表于 2004-8-25 07:38:00|北京 | 查看全部 阅读模式

请教个问题

ZnS膜层应力释放出来一般体现为裂痕,有的时候出现一些比较微小的点是不是也是应力的体现。

另外大家见过ZnS分层脱落的情况过没有,PS:3000AZnS脱落400A左右的ZnS,而不是整个厚度的ZnS脱落。

衬底的洁净度不用怀疑,是不是以上问题能用应力解释,希望见过这种情况或者有兴趣的同志讨论一下

回复|共 4 个

zz Lv.10 发表于 2004-8-25 16:18:00|广东 | 查看全部

微小的点有可能是应力的表现。

分层脱可能是薄膜不一致。

sswh 楼主Lv.7 发表于 2004-8-26 01:15:00|北京 | 查看全部
薄膜不一致的话,那就说是工艺条件发生变化?实际上工艺条件是没有发生任何变化的啊,是不是最后还是能归结于应力的体现,表面处的电荷或者价键的变化?
ippsong Lv.9 发表于 2004-8-26 04:22:00|广东 | 查看全部

以前曾經用過ZnS , 不過好像沒遇過像您說的問題....

不過應力好像應該是類似龜裂的現象....

還請大家指正...

sswh 楼主Lv.7 发表于 2004-8-26 06:44:00|北京 | 查看全部
是的,ZnS的确出现了龟裂的情况,但是为什么会出现分层裂的情况,这个现象从应力方面好象很难解释啊,希望大家能对分层脱落的情况讨论下。

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