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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 膜料喷溅问题

膜料喷溅问题

 火...
5.3k 11
发表于 2003-7-1 18:44:00|陕西 | 查看全部 阅读模式
  蒸镀过程中，特别是高功率情况下，有时可从坩锅中看到带微光的火花出现这就是喷料现象。这是由于膜料不纯或残余料中有气体所致（可能是由于在预熔时没有熔好熔透）喷料也会引起高压跳火。如果喷出的分子达到基片，在某些情况下会导致基片损坏（会产生一些大的点子）或不能用的结局。
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回复|共 11 个

jeh Lv.8 发表于 2003-7-1 18:52:00|福建 | 查看全部

膜料喷溅问题

我所用过的膜料中：比较易发生喷料的膜料主要是TI+O的化合物。
不知大家还有没有其他的发现。
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jet Lv.8 发表于 2003-7-1 20:51:00|新加坡 | 查看全部

膜料喷溅问题

如TIO2、TA2O5等材料的第一次予熔很重要，有时需要予熔两次才可使用。
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风寒雪月缺 Lv.10 发表于 2003-7-2 01:57:00|山东 | 查看全部

膜料喷溅问题

混合料比较容易喷溅,粉末状的料也容易喷.
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feiyang Lv.8 发表于 2003-7-2 06:34:00|河南 | 查看全部

膜料喷溅问题

喷料是由于膜料不纯或残余料中有气体,吸收水气所致,主要还是在使用过程中没有予融好,但是使用时速率过大,即使纯度,放气没有问题,也会溅料
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阿杰 Lv.6 发表于 2003-7-6 04:48:00|广东 | 查看全部

膜料喷溅问题

易产生膜料喷溅的为MGF2主要是坩埚或钨舟污染及膜料不纯
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isfm Lv.8 发表于 2003-7-13 05:47:00|上海 | 查看全部

膜料喷溅问题

还有些材料在高温时本来就会部分分解放气，对于这类材料蒸发时放气喷溅是无法避免的
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royyang Lv.8 发表于 2012-6-1 23:30:39|江苏 | 查看全部
也遇到了这个问题
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laoxianccc Lv.8 发表于 2013-4-27 12:42:09|浙江 | 查看全部
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新手求教 Lv.7 发表于 2013-4-28 11:14:56|江西 | 查看全部
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老城 Lv.7 发表于 2013-6-2 02:45:50|福建 | 查看全部
电子枪的扫描，光斑没调好吧
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