RF sputtering和DC sputtering的区别

greenhaw · *发表于* 2014-6-18 15:02:47

那位同行有RF sputtering和DC sputtering的区别的深度资料，比如RF sputtering的palsma能量多少eV，DC sputtering能量多少eV?
因为最近工艺中发现好像DC sputtering对样品轰击能量大于RF sputtering，但是不太确定。

royyang · *发表于* 2014-7-1 22:38:34

我这边情况是这样的，要看RF和DC 的负载是什么样的。金属型的，DC表现的要比RF强。绝缘的，RF比DC强

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