请教磁控溅射镀铝和二氧化硅！

我们用的是莱宝的磁控溅射镀膜机，主要镀制大面镜，膜料是铝和二氧化硅，请大家指导一下，有什么需要注意的，有没有相关的资料，小弟在这谢谢大家了！我是什么都要，大家随便留言啊~

可问LIGHT兄。