光刻机及光刻胶处理系统

能满足光刻分辨率1~2μm，光刻胶的厚度为1~2μm，直径约100mm这些指标的光刻机哪里能提供（国内或国外），这类光刻机（国内或国外）价格大概是多少？工作环境有什么要求？

另，光刻胶处理系统一套需要多少钱？

希望各位仁兄能及时提供，谢谢！