帮帮忙!!!!!!!!!!

4.3k 19
发表于 2005-6-28 17:48:00|江苏 | 查看全部 阅读模式
为什么会有同一个机器镀膜.镀单层mgf2时是均匀性相差波长5NM,但是镀多层时会差波长30NM啊!
[glow=255,red,2]望诸位帮帮忙啊[/glow]

回复|共 19 个

4366544 楼主Lv.8 发表于 2005-6-28 18:49:00|江苏 | 查看全部
怎么没有人啊!晕
flyinlove79111 Lv.8 发表于 2005-6-28 20:31:00|陕西 | 查看全部
因为每台机器都有控制误差啊.
zz Lv.10 发表于 2005-6-28 21:14:00|广东 | 查看全部
首先多层较当层敏感,其次各种膜料的均匀性不一样,再次误差累积.
wazxq Lv.10 发表于 2005-6-28 21:42:00|广东 | 查看全部
材料的性质不一样,束流不同也会。不过按道理没有那么大的变化。
4366544 楼主Lv.8 发表于 2005-6-28 21:54:00|江苏 | 查看全部
hai 有 人在吗?我们一起讨论讨论!!
何谓人 Lv.8 发表于 2005-6-29 03:52:00|陕西 | 查看全部
多种原因造成的,你的机子的性能,及稳定性不好吧!!!
4366544 楼主Lv.8 发表于 2005-7-8 22:34:00|江苏 | 查看全部
[B]以下是引用[I]何谓人[/I]在2005-6-28 19:52:05的发言:[/B][BR]多种原因造成的,你的机子的性能,及稳定性不好吧!!!
就算是也不会这么大的差距啊?
xiaozhou Lv.8 发表于 2005-7-9 06:07:00|四川 | 查看全部
不知道误差是指同一罩的还是罩与罩之间的误差。
Leesnow Lv.9 发表于 2005-7-9 21:52:00|江苏 | 查看全部
应该是单层的不稳定,多层的结果可靠一些!
4366544 楼主Lv.8 发表于 2005-7-10 00:19:00|江苏 | 查看全部
你说的是什么意思啊?什么东西可靠啊?
经济学的故事 Lv.9 发表于 2005-7-13 00:50:00|上海 | 查看全部
蒸镀条件没变更的话
建议你校正下你的Mask,另蒸镀时可考虑加大点Rotation speed.

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