测膜厚，有没有地方做

风之炫彩 · *发表于* 2005-6-4 21:23:00

我发过帖子了，就是用光谱仪测膜的光学厚度，但是经过一个月的时间，发现不是很直接，干脆直接测出它的膜厚和折射率算了，有没有地方可以做，我在湖南大学，就近的！

malan007 · *发表于* 2005-6-5 04:56:00

椭偏仪.
我在西安,有点远.

风之炫彩 · *发表于* 2005-6-6 00:37:00

谢了，刚在我们实验室发现了一台椭偏仪，你在西安哪呀

我大学是在陕西读的哦

malan007 · *发表于* 2005-6-7 07:26:00

西安西核所,真是巧了,我大学是在长沙读的.有缘认识一下啦.QQ:462082566

fishdesky · *发表于* 2005-6-14 06:20:00

椭偏仪能测的范围是多大啊？
几十nm到几百UM？

zphhappy2002 · *发表于* 2005-6-16 23:03:00

大家好呀,我是做薄膜分析仪的,请问薄膜分析仪与椭偏仪有什么区别呀,
我只知道薄膜分析仪.能测SCI FilmTek TM Systems(薄膜测量仪器测试功能说明)可测量:
Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness)
Thickness Measurement Range 厚度测量范围
Maximum Spectral Range 最大光谱范围
Standard Spectral Range标准光谱范围
Reflection反射测量
Transmission透射测量
Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量
Power Spectral Density功率谱密度测量
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量
Both TE & TM Components of Index
Multi-layer thickness多层厚度测量
Index of Refraction折射系数测量
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数
Energy band gap能量带隙测量
Composition成分测量
Crystallinity晶状测量
Inhomogeneous Layers非均匀层测量
Surface Roughness表面粗糙度测量

希望能赐教;
我的Email:zoupuhong@chinaecnet.com
0755-83342710