镀CR 不能蒸镀上去的原因请教

yaoaohua80 · *发表于* 2006-3-23 23:17:00

小弟最近有一个问题请教，我用钼舟蒸镀CR，抽到高真空以后，充入氩气，工作真空度5.0E -1 Pa(工艺条件需要），材料加到适量，基板是K9玻璃，但是几次实验下来，基板上面没有镀上CR，故此请教各位。

zzzz · *发表于* 2006-3-24 16:30:00

CR没蒸上去贝

CR是否熔化蒸发?

snebur · *发表于* 2006-3-24 17:27:00

Cr充入氩气，工作真空度5.0E -1 Pa是否充气太多了！把蒸发起来的CR抽掉了！如果不抽掉的话，很难一点也没有蒸发到极板上！

yaoaohua80 · *发表于* 2006-3-25 01:31:00

有谁在这个工作真空度5.0E -1 Pa 下,镀过CR呀?

yin99 · *发表于* 2006-3-25 19:09:00

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luocunhua · *发表于* 2006-3-25 21:30:00

我想也是真空度太低了。你应该少充点氩气看看。

yaoaohua80 · *发表于* 2006-3-27 15:57:00

谢谢各位大侠！我的本意是想要产生一种扩散斑，看来在低真空度下好像是有难度了。

zzzz · *发表于* 2006-3-28 00:49:00

扩散斑,有意思,说来听听.

天涯孤星 · *发表于* 2006-3-29 17:54:00

我不知你充氩气的目的是什么？

蒸镀Cr，只要抽到高真空应该没问题，如果再镀不上，是不是需要对你的基材进行清洗

yaoaohua80 · *发表于* 2006-3-29 22:06:00

我充氩气是为了让CR在低真空蒸镀可以扩散。还有就是不会象氧气一样会引起什么反应。

xcy1075 · *发表于* 2006-3-31 18:55:00

扩散斑,有意思,说来听听.

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