厚度精确测量

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发表于 2006-5-22 22:51:00|福建 | 查看全部 阅读模式

加工10mm*10mm的平行平片,厚度0.3+/-0.0005mm(镀膜后的厚度),厚度如何精确测量

回复|共 10 个

piaopiao Lv.6 发表于 2006-5-23 16:46:00|福建 | 查看全部
可以采用SWS系统扫描曲线从而转换成厚度。SWS的精度很高的。
alittle Lv.6 发表于 2006-5-24 15:52:00|江苏 | 查看全部

请教:1、什么SWS系统啊?

2、这种厚度要求的平行平片加工中用何种工艺生产呢?0.0005mm已是光波长级别啦!

谢谢!
casix 楼主Lv.8 发表于 2006-5-24 22:16:00|福建 | 查看全部
如果镀了增透膜的话,表面的反射率太低,用SWS扫描应该不会有波形曲线
opticlin7 Lv.7 发表于 2006-5-26 01:15:00|福建 | 查看全部

可以用NIKON测厚仪

guojianzhong Lv.8 发表于 2006-5-26 18:15:00|江苏 | 查看全部

用三丰的LITEMATIC高精度测厚仪,精度0.00001mm,就是有点贵,四万多

casix 楼主Lv.8 发表于 2006-5-27 22:51:00|福建 | 查看全部
这些测厚仪的精度好像都只是显示值,实际测量精度都不够
leonnow100 Lv.8 发表于 2006-6-11 23:16:00|广东 | 查看全部
用Nikon的高度尺,可以独到1/10万mm。我们现在就用这种。
yjs123456 Lv.6 发表于 2006-6-12 20:16:00|江苏 | 查看全部

NIKON的高度尺,什么价格

一塌糊涂 Lv.8 发表于 2006-6-16 23:35:00|湖北 | 查看全部

有一种很古老的设备,迈克耳逊干涉仪,价格好像还不是很贵,比楼上的说的便宜多了

weijiatao006 Lv.8 发表于 2007-10-5 15:56:23|河南 | 查看全部
Nikon的高度尺,真的能读到1/10万mm,他的原理是什么

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