请教镀膜SiO2

renajin · *发表于* 2004-12-7 22:33:00

请教各位专家,我公司镀膜SiO2时, 镀膜完毕,擦拭时,镀膜脱落.(牢固度不够)

请问是什么原因啊

xcy1075 · *发表于* 2004-12-14 01:44:00

温度多少

zz · *发表于* 2004-12-8 00:26:00

和基体特性不匹配；镀前表面污染，其他

cjyzq · *发表于* 2004-12-8 02:41:00

工艺问题提高SiO2的蒸发速率。

Leesnow · *发表于* 2004-12-8 17:10:00

还有真空度，有没有离子源啊！

renajin · *发表于* 2004-12-13 23:09:00

martin1980 · *发表于* 2004-12-13 23:18:00

你们只镀SIO2么？还有没有镀其他的膜层？

sauke · *发表于* 2004-12-15 07:57:00

可能与基底温度及洁净度有关。

matta · *发表于* 2004-12-15 21:38:00

温度是主要关系，基底的温度在250时表面活性最大，膜与基底结合越牢固。

蒸发速率在18A/S最合适，真空要在2.5E-5Torr以下。

renajin · *发表于* 2004-12-27 18:46:00

谢谢了

zjtzzw · *发表于* 2004-12-29 02:36:00

先测一下温度达到250度以上和跟真空度2.5*10－5torr 以下

*发表于* 2005-6-28 19:23:00

你的ＳＩＯ２的蒸发时的放气量是不是已经使真空度变的好低?？

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