氧化鋯鍍膜問題

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发表于 2006-7-31 18:30:00|江苏 | 查看全部 阅读模式

各位好:

我在鍍氧化鋯時發現有吸收的現象,基板為PC料,氧壓為2.6*10-3PA,請教應該怎樣避免吸收。

我用氧化鋯+氧化硅鍍制4層膜時,冷熱衝擊有膜裂的現象,請教是否是膜係設計有問題,誰能指點一下阿,最好給個膜係我來試鍍,謝謝!

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