关于金属加介质高反膜的问题

x_x_x_f · *发表于* 2004-9-23 19:43:00

在铝膜外加镀一层SiO膜，反射率达不到要求的90%。为什么？

xiaohe · *发表于* 2004-9-23 23:03:00

加低温设备可以提高反射率的.

d2ma · *发表于* 2004-9-24 01:01:00

以下是引用x_x_x_f在2004-9-23 11:43:12的发言： 在铝膜外加镀一层SiO膜，反射率达不到要求的90%。为什么？

也许你的sio膜的厚度没有控制好

zxp163a · *发表于* 2004-9-24 03:22:00

要提高反射率，可以从以下几个方面考虑：1、尽可能提高真空度；2、材料纯度要足够高；3、尽可能提高铝的蒸发速率；4、基底的温度要低；5、在中心波长处多镀几对低高折射率膜层。

x_x_x_f · *发表于* 2004-9-24 18:40:00

可能厚度没有控制好，因为是凭经验镀了多厚

Jesus · *发表于* 2004-9-24 18:54:00

可不可以做金属膜+多层介质膜，高反的平坦度和反射率可能会好些。

x_x_x_f · *发表于* 2004-9-26 19:08:00

如果做金属加多层介质膜是不是zxp163a所说的多镀几对低高折射率对？

那样的话是不是先镀1/4中心波长厚度的低折射率膜，再镀1/4中心波长厚度的高折射率对？

cjjiang · *发表于* 2004-9-27 18:45:00

先镀高折射还是先镀低折射跟你所选衬底有关

caodahua · *发表于* 2006-8-21 23:23:00

我觉得1、尽可能提高真空度；2、材料纯度要足够高；3、尽可能提高铝的蒸发速率；4、基底的温度要低情况下,镀这样的膜系Al+(NbOx/SiO2)

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