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zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小？

2.7k 2
发表于 2005-6-3 05:27:00|上海 | 查看全部 阅读模式
有人知道zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小，不是指测量精度和分辨率，重复性概念，是测量量程的下限。
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mlpo Lv.2 发表于 2007-9-27 09:52:00|山东 | 查看全部
一样关注zygo测量中……
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wujian Lv.5 发表于 2007-9-28 10:08:37|四川 | 查看全部
没用过，打算进来了解哈情况的
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