镀膜求助

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发表于 2008-1-16 16:01:54|吉林 | 查看全部 阅读模式
我在真空度为9.7E-5mbar的条件下镀铝然后SIO2为保护层(SIO2的膜层很薄大概为7nm厚度)要求170-900nm R>85% 为什吗在170-200nm和在铝膜的转折点830-800nm的时候R<85% 哪为高手能帮忙解释下  先谢谢了

回复|共 15 个

hezhiwei629 楼主Lv.2 发表于 2008-1-17 08:23:21|吉林 | 查看全部
哪位高手帮忙指导下呀!!!!!!!!!!!!!!!!!
zzzz Lv.10 发表于 2008-1-17 08:35:47|福建 | 查看全部
你是如何测试绝对反射得?测试准确性如何?
SIO2在200nm以下有吸收.
hezhiwei629 楼主Lv.2 发表于 2008-1-17 13:24:52|吉林 | 查看全部
我是使用PERKIN ELMERL LAMBDA19 UV/VIS/NIR 测试的绝对反射 因为SIO2只是作为保护 我们只镀60nm(设计数值) 因为我们以前是在新加坡做的可以达到要求 可是回来之后就达不到要求了
我们在那边是8.0E-6mbar才开始镀的  在中国压强只能达到9.0E-6mbar 会不会是压强低了些造成的????

[ 本帖最后由 hezhiwei629 于 2008-1-17 13:26 编辑 ]
zzzz Lv.10 发表于 2008-1-18 10:21:55|福建 | 查看全部
你用的是V-W反射架还是用专门的组件测绝对反射?
SIO2厚度再减点
hezhiwei629 楼主Lv.2 发表于 2008-1-18 16:00:32|吉林 | 查看全部
我用的是V-W反射架 我现在实际镀上SIO2的厚度大约为6-7nm的厚度 我怕太薄了 保护膜有问题呀   虽然减少SIO2的厚度 但是对于提高800-850nm阶段的R 用FILMSTAR软件看 几乎是不变的呀. 您还能帮我想想还有其他什吗地方会影响到吗???先谢谢了.
john03062003 Lv.2 发表于 2008-1-21 09:55:25|山东 | 查看全部
软件设计的都是些理想的情况, 但还要看具体的基片,还有测试绝对反射率要用专门的测试装置才行,你所测的是一个参比出来的数值,不是很准确!
zzzz Lv.10 发表于 2008-1-23 08:19:35|福建 | 查看全部
如果你的厚度确定是正确的
那就测试系统可能有问题,170-200可能测试精度就不高
hezhiwei629 楼主Lv.2 发表于 2008-1-23 10:57:00|吉林 | 查看全部
我还想再问一下 SiO2在200nm以下吸收与真空度的关系  大概真空在多少时 可以减少SiO2的吸收???
HGcoating Lv.9 发表于 2008-1-23 11:22:30|湖北 | 查看全部
如果不是测试误差就是厚度有问题了,衍射比形成光栅测出来就会那样。具体还要看情况才能确定
yuangong Lv.5 发表于 2008-1-23 20:19:22|吉林 | 查看全部

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zzzz Lv.10 发表于 2008-1-28 14:16:12|福建 | 查看全部
设备先进??
啥设备啊??????????????????

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