请问有人用溅射方法镀MgF2到PC基板上吗？有什么工艺难点吗？

fawang · *发表于* 2008-9-29 18:21:47

xupengcheng · *发表于* 2008-10-5 18:08:29

MGF2，这种材料不能用溅射方法做

zzzz · *发表于* 2008-10-6 08:13:09

确实好象还没看过F化物的靶

qjy · *发表于* 2008-10-6 09:47:06

没听说过氟化镁可以溅射镀！呵呵！

qjy · *发表于* 2008-10-6 09:56:57

若用溅射法镀氟化物，由于溅射能量太高而极易将其分解从而严重失氟以至于影响薄膜性能。也就是说若用溅射法镀氟化镁，镀出的薄膜将不再是氟化镁薄膜，而是Mg,MgF,MgF2三种成份的混合物

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