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高精度大平面检测

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发表于 2008-11-25 14:05:43|江苏 | 查看全部 阅读模式
大平面面型怎么测量？请教各位了。
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回复|共 3 个

ds1234567 Lv.12 发表于 2008-12-3 06:38:56|吉林 | 查看全部
激光平面干涉仪，口径300；ZYGO干涉仪口径150mm。需要检测来长春228厂。
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YAS-OPTICS Lv.10 发表于 2008-12-3 09:48:58|四川 | 查看全部
激光平面干涉仪
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cuiwangbin Lv.6 发表于 2008-12-3 10:39:24|江苏 | 查看全部
4英寸的可以检验150以上的吗？ 其检验的最大直径是多大啊？平面和球面。
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