氟化镁MgF2-耐摩擦性问题！

士官长 · *发表于* 2015-9-5 22:51:13

大家好，请问大家AR膜最外层氟化镁不耐摩擦测试是什么原因？

目前基片加热至290度，蒸发速率5A/s，蒸发时真空在-4Pa级别，无离子源辅助。
成品脱膜测试通过，但在耐磨测试中不合格，用纱布摩擦表面会有痕迹。
大家有没有碰到过这个情况？请问应该如何解决？

gb936 · *发表于* 2015-9-6 18:33:31

不考虑其他因素，要快速蒸发才牢。

士官长 · *发表于* 2015-9-6 19:10:37

gb936 发表于 2015-9-6 18:33
不考虑其他因素，要快速蒸发才牢。

谢谢，请问5A/s算慢还是快？

gb936 · *发表于* 2015-9-7 07:38:02

士官长发表于 2015-9-6 19:10
谢谢，请问5A/s算慢还是快？

没有工艺？
多层镀都不低于30--50A/s,单层还要高

士官长 · *发表于* 2015-9-7 12:02:55

30-50A/s？
我记得氟化镁一般就是10A/s以下的速度？

诸葛流星 · *发表于* 2015-10-7 09:10:03

设计中除了MgF2还有什么材料？考虑不同材料间应力和附着力影响

wjwvsly · *发表于* 2015-10-29 12:31:11

gb936 发表于 2015-9-7 07:38
没有工艺？
多层镀都不低于30--50A/s,单层还要高

什么镀膜设备，速率30-50A/S ,太牛了吧

士官长 · *发表于* 2015-10-31 12:59:49

诸葛流星发表于 2015-10-7 09:10
设计中除了MgF2还有什么材料？考虑不同材料间应力和附着力影响

两种材料：HfO2和MgF2

诸葛流星 · *发表于* 2015-12-5 21:41:04

30～50？好吓人啊

诸葛流星 · *发表于* 2015-12-7 12:56:46

哪个波段的，换个材料试试

士官长 · *发表于* 2016-1-7 21:44:40

请问耐磨性不好的主要原因是薄膜硬度还是粗糙度？
烘烤250-300度左右氟化镁的硬度应该很好呀。

轩zjw哥 · *发表于* 2018-1-25 22:06:58

没有高手吗？

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