ti3o5和sio2膜

sanma · *发表于* 2004-7-29 05:42:00

我最近镀ti3o5和sio2膜，物理厚700多nm，为什么镀出的表面光洁度很差，sio2用环形坩埚，ti3o5膜料也预溶都很透，真空腔卫生也清理的彻底，不知为何还有那么多点子，再厚一点还会有点发雾，请各位大哥出出主意！！！

optorun · *发表于* 2004-7-29 06:22:00

请问你们基片上是什么样的点子？（点子有很多种），发雾一般情况下是由于真空度和充氧量的问题，只要稍做调节即可解决发雾问题。

yin99 · *发表于* 2004-7-30 00:22:00

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chz321 · *发表于* 2004-7-30 06:47:00

会不会是哪里打火了,

sanma · *发表于* 2004-7-30 07:49:00

主要是白点子，面很多，不知是不是由止产生面朦，在南光机上做的。

zz · *发表于* 2004-7-30 16:38:00

基片材料

chz321 · *发表于* 2004-7-31 05:33:00

你的基片是什么材料，实际温度是多少度，会不会太高了，

bick2008 · *发表于* 2004-7-31 20:20:00

机台、膜系怎样啊！

先镀AL2O3看看

fengjg · *发表于* 2004-8-2 23:32:00

你用的料,是哪产的,是不是放很长时间了，有没有受潮,用受潮的料镀出的膜质量很差!

kuan · *发表于* 2004-8-3 00:55:00

optorun兄:

發霧是否真的與氧流量有關? 可否分享實際調整狀況

而另依種說法是PolyCold水氣所造成

新手上路001 · *发表于* 2004-8-5 01:23:00

你的选好一点的料才行，国产的料很差的，包括有院的在内，听说有一种料还不错，鬼子产的，不过价钱满高的

laoxianccc · *发表于* 2013-4-26 16:06:16

是什么材料啊

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