悬赏通告

这两天镀膜时镀SIO2（不充氧）时真空度和以前相比下降很多，以前镀第一层SIO2时真空度在6.0*10-³帕,现在在8.0*10-³帕,离子源清洗时查看真空计和前段时间有差别(现在是1.4*10-²帕以前是1.2至1.3*10-²帕)我以多次更换了真空计都没有,另外我的离子源充气用的是个独立的流量计(充气一直控制在7.8SCCM),产品镀出来后发现波长短了10纳米,发现是TIO2镀少了的原因,另外我镀膜时TIO2还是和以前一样充氧控制在2.8*10-²帕,各位你们知道这是什么原因吗?

各位朋友,请问到底是哪里出了问题?

漏真空了

调整一下膜系就行了，只要这种情况稳定

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tfc 发表于 2012-5-23 07:49
漏真空了

你好，抽真空时间比和以前比是慢了一点点，有几炉还是和以前一样

zouyou828459 发表于 2012-5-23 13:11
你好，抽真空时间比和以前比是慢了一点点，有几炉还是和以前一样

另外我们把高阀用打磨机打磨过了，昨天镀了一炉5.8微米厚的片子，镀后真空和以前一样，但镀出来还是SIO2镀多了，因为我上次稍为调整了一下工具因子，所以掉坑不是很大，我感觉还是测真空的地方出了问题，复合真空计该如何维护啊？

精诚光学 发表于 2012-5-23 09:29
调整一下膜系就行了，只要这种情况稳定

你好,谢谢,但是因为我们这里镀的产品每炉都不一样,所以要保证镀出来的和设计的相差的尽量小,所以还是要找到真因才行啊

zouyou828459 发表于 2012-5-23 13:21
另外我们把高阀用打磨机打磨过了，昨天镀了一炉5.8微米厚的片子，镀后真空和以前一样，但镀出来还是SIO2镀 ...

将其他真空计的表和规管调换看有差别没，若没还是多检查一下真空室是否漏气吧。

以前有没有这种情况？会不会是机械泵抽速不行了，夏季多雨，我们以前遇到过雨水顺着排气管，流进机械泵里的情况

你一定要用真空来衡量的话，就把始镀真空定到小于2.5乘10的负3帕以下，然后再修正指标，因为我看你发的几贴，判断是“残余气体”成分比例和以前发生变化，你定的始镀真空不太合适，不稳定。