半导体微电子传感器技术 - 光电工程师社区

半导体微电子传感器技术

1.各种光电传感器理论、技术及应用，微光学器件及集成光学，半导体制造技术及工艺设备，MEMS及微器件及相关内容。
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la999

2012-01-09 19:31

26.6k 5

#资料

《新编传感器技术手册》

新编传感器技术手册作者：李科杰出版社：国防工业出版社出版日期：2002年1月 ISBN：711802505 页数：1328　开本：小16开　版次：1 目录基础篇　第1章　概论　第2章　传感器的名词术语　第3章　双向传感 ...
测试

2011-10-08 09:11

11.4k 4

#技术

基于多掩膜光刻工艺的MEMS体硅加工

本文提出了一种新颖的MEMS多掩膜工艺,实现了带有大台阶和大深宽比窄槽的衬底上的体硅精细加工。通过薄胶多次光刻在衬底上制作出氧化硅（SiO2）、氮化硅（Si3N4）、光刻胶（photo-resist,PR）等材料的多层掩膜图形, ...
娆娆

2010-08-02 09:55

21.1k 15

#资料

Handbook of Modern Sensors, Physics, Designs, and Applications.

Handbook of Modern Sensors, Physics, Designs, and Applications. Jacob Fraden. Springer, 2004.
娆娆

2010-12-09 11:15

1 9313 5

#资料

光纤光栅传感器信号解调方法的研究

光纤光栅传感器信号解调方法的研究
hins

2006-10-12 08:41

31.1k 53

[下载]光纤传感器的现状和应用 pdf

光纤传感器的现状和应用.pdf【相关关键词】·光纤传感器·无电检测·光纤光栅·光纤传感技术·光纤理论·安全监控·桥梁结构·监控·应用分析·传感器·实时监控·FP光纤传感器·温度特性·应变特性·实时监测 ...
dwzgy

2010-05-18 20:36

8671 7

#讨论

【MEMS控制技术原理】electrostatic actuation

给大家学习！
bluekeenli323

2004-08-01 21:24

111.2k 165

[分享]光电传感器及其应用

呵呵，大家可以来看看这篇讲义，原理讲的还比较清楚