请问溅射膜的附着性如何？

darly

请问溅射膜的附着性如何？
玻璃基板边缘有膜剥落的话，是何种原因造成？

zz

应力问题了

wazxq

错了，降温才有助于减少应力，想想看镀膜时温度250，镀完后20度

darly

感谢各位大哥的指导！
日前，小弟受到 lazulite兄小小的启示之后，
现在正在尝试将原来的片子加热250~300℃
消除内应力！
不知可不可行，试试看呗！

sunny2002

是否可以考虑非平衡磁控溅射?

lazulite

材料不同，有不同的内应力，加温有助於减少内应力，
也可以试试把工作气体压力减少。

wazxq

说应力原因很有道理，如果消应力的话，是不是要将加热减小了。

ic5

我认为还是由于应力的影响，切割时出现迸裂，肯定是由于应力重新分布所致。

heyanch

下面引用由darly在 2004/02/05 05:42pm 发表的内容：
是啊！是磁控溅射！
若是有应力产生，为何使
只有边缘出现膜掉落？应该是全面性的剥落啊？
请指教！感谢！

用粘胶带测试时，就不应该从边缘开始,你没见过测试规范吗?我们的要求距离边缘2mm,但即使从边缘拉膜层也没有脱落.

darly

OK!
十分感谢楼上的两位仁兄的说明！
我再摸索一下镀膜工艺，一有眉目
我一定贴出来分享！

chugqchugq

镀膜时薄膜的应力分散分布，达到一种平衡，线切割后，薄膜的边界变了，应力必须重新分布，边缘掉膜是应力重新分布的一种表现。要解决就要降低应力等。

wazxq

我是用离子辅助镀膜，不是溅射，我对溅射镀膜不懂，所以不敢乱说。

你是用VEECO的SPECTOR 吧，我用的是ION TECH的16mm离子源，两种镀膜还是不同的。
不过是溅射镀膜的话，离子源肯定重要，可检查一下。在设备保证的情况下，就是摸索工艺了。

darly

您所指的[边缘效应]指的是什么意思？
可否进一步说明！

Wazxq兄，请教一下：
因为我也是使用Ti靶，不知您是如何使用？
真空、离子源POWER………等等！
我都已经使用到2.0*10-1Pa，真空的问题应该可以排除吧！