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[讨论] 双枪镀膜机均匀板的修整方法快、准、狠

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发表于 2014-2-25 11:32:12|江苏 | 查看全部 阅读模式
对与带有双电子枪的镀膜机来说，修整高、低折射率材料的膜厚之比很是麻烦。但是我介绍的这种方法，简单实用，一步到位，希望对大家有帮助！
1、镀一个7层的1/2波长厚度的膜系：2H2L2H2L2H2L2H，由于它在监控波长处全为虚设层，故透射率为极大，而其两侧的两个透射极小值峰对高、低折射率误差极为敏感。
2、若低折射率层偏薄，则短波侧的透射率降低而长波侧的透射峰升高，反之亦然。
3、由此不仅可以了解膜厚均匀性，而且可知高低折射率膜的厚度比是否正确。
折射率, 镀膜, 电子, 而且, 监控
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回复|共 30 个

苏州膜头 Lv.9 发表于 2014-2-25 20:38:50|江苏 | 查看全部
楼主：弱弱的问下，高低折射率材料的膜厚是同时修正的吗？和膜厚均匀性有关系吗？请说详细点。
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wdydede Lv.8 发表于 2014-2-25 22:29:13|湖北 | 查看全部
谢谢楼主的分享，这是好主意！刚用2.2，1.45，模拟了一下，的确比较灵敏，当两者之比为1：1.01，则两个次峰变化达2%，一个上升1%，一个下降1%。
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rollo_tomasi 楼主Lv.8 发表于 2014-2-26 08:30:53|江苏 | 查看全部
如果对整个镀膜伞修整均匀性的话，主要是修正径向内外圈的厚度差异，还是需要靠一次一次逐步微调。
我这个更主要的是侧重于在使用晶控监控时高、低折射率膜层的比例修正。这个方法比用光度计测量一个SWP膜系不同入射角度的次峰大小来判断两者比例的方法要简单许多！
xiezhizhi188
膜料折射率又用什么样的膜系来做啊 
发表于 2014-5-7 20:50
rollo_tomasi
SWP是短波通的意思！ LWP自然是长波通了！ 
发表于 2014-2-27 08:03
wdydede
弱弱地问一下：SWP是什么意思？是短波通吗？ 
发表于 2014-2-26 22:16
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lkai1014 Lv.8 发表于 2014-2-26 10:21:45|福建 | 查看全部
可以先分别修正高和低折射率材料的修正板，然后在用HLHLH2LHLHLH做一个BPF来同时修正H和L的修正板
wdydede
LKai1014:恕我愚钝，这个只能验证前面工作的效果，不太明白这个如何同时修正H和L的修正板？还请明言， 
发表于 2014-2-26 22:12
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rollo_tomasi 楼主Lv.8 发表于 2014-2-26 10:46:12|江苏 | 查看全部
对楼上的说话，我说一点不同意见：如果你的分光光度计可以测量剩余反射率的话，我可以镀一个双层λ/4-λ/4的单点式AR，它的剩余反射率曲线就是一个V型，不是也能很好的看出均匀性的差异嘛！比镀一个11层的窄带通要省时好多！
lkai1014
就比如做材料数据，是做一个1/4λ还是做7/4λ？ 
发表于 2014-2-26 11:42
lkai1014
单点的误差还是相对比较大的，重复性也不一定很好。做这个BPF本来就是用来微调HL的Tooling值的，对于修正蒸镀过程中的随机误差效果要比单点AR精度要高 
发表于 2014-2-26 11:35
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rollo_tomasi 楼主Lv.8 发表于 2014-2-26 12:53:44|江苏 | 查看全部
明白 lkai1014 的意思，就好比增透膜和滤光膜，两者在均匀性上还是有差异的，厚层和薄层也是有差异的！
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lkai1014 Lv.8 发表于 2014-2-26 13:42:16|福建 | 查看全部
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coaterxf Lv.8 发表于 2014-2-27 14:06:36|广东 | 查看全部
五指山法怎么用呢？
MorningTech
传说中的五指山法，分析过程是一样的。 
发表于 2014-2-28 16:53
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qxb2008 Lv.6 发表于 2014-2-27 20:03:29|吉林 | 查看全部
本帖最后由 qxb2008 于 2014-2-28 08:32 编辑
lkai1014 发表于 2014-2-26 10:21
可以先分别修正高和低折射率材料的修正板，然后在用HLHLH2LHLHLH做一个BPF来同时修正H和L的修正板


修正板还分为高低折射率两种修正啊，那怎么能够同时兼顾两者呢？
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qxb2008 Lv.6 发表于 2014-2-27 20:12:55|湖北 | 查看全部
本帖最后由 qxb2008 于 2014-2-27 20:16 编辑

请教一下：BPF如何判定是高折射率还是低折射率的问题，是偏多还是偏少。

BPF

BPF
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lkai1014 Lv.8 发表于 2014-2-28 00:28:08|福建 | 查看全部
qxb2008 发表于 2014-2-27 20:12
请教一下：BPF如何判定是高折射率还是低折射率的问题，是偏多还是偏少。

通过比对HL各组系数的变化来进行修正
11L-BPF 组系数大于1.gif
11L-BPF 组系数小于1.gif
cqzxcl
bpf个人觉得看不出来hl的匹配关系，sp能看出来 
发表于 2014-5-13 16:36
MorningTech
总光学厚度增加的话，峰值会向长波方向移动。传说中的五指山法，通过前后指峰变化，看失配方向，要更清楚些。 
发表于 2014-3-1 09:43
wdydede
不好意思，当H为1，L为1.05时，尖峰向右移，当H为1.05，而L为1时，尖峰也向右移！不知对不对 
发表于 2014-2-28 21:47
MorningTech
赞一下，很直观 
发表于 2014-2-28 16:48
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