镀铝镀金,为什么要控制膜厚?

wazxq · *发表于* 2004-3-13 23:29:00

用晶振膜厚控制仪镀金银厚度能控制到什么程度。能精确到几nm吗

zz · *发表于* 2004-3-15 04:42:00

可以

zhouchen0510 · *发表于* 2008-10-16 22:48:30

请高手们，镀铝有点子，有路子有什么方法可以解决啊

yzhuang · *发表于* 2008-10-17 10:38:05

镀铝时如果不是镀高反膜，都是要控制厚度的，如果是诱导增透，那个厚度就非常重要了，如果精确不了，是没有透射峰出来的。还有在有些时候用晶控控制速率也是必要的

qjy · *发表于* 2008-10-17 10:38:35

如果用金属做高反膜或是电极，控制膜厚确实不必要。但是金属膜还有很多别的用处，如做分光，诱增透，甚至滤光片等，这些尤其是诱增透和诱导滤光片都要求金属膜的厚度要控制的非常准确，所以要准确控制膜厚

zzzz · *发表于* 2008-10-17 10:42:03

其实不尽然,毕竟诱导只是镀AG多.
现在要求的是生产控制,若不能控制厚度,如何保证稳定性
现在甚至有要求准确控制厚度地,因此膜厚测试就有要求了

wazxq · *发表于* 2008-10-17 12:47:37

谁做过诱导滤光片，稳定性怎么样？

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