离子源，大家来讨论

ic5 · *发表于* 2004-7-15 22:06:00

RF源的打火很少出现，只有在栅网较脏或变形后会出现。对于其清洗问题，要注意，主要是避免栅网的变形，其他的没有什么！

chz321 · *发表于* 2004-7-16 04:23:00

RF源是属于考夫曼离子源,请问哪里能找的到关于RF源的资料,谢谢,

nanovac1 · *发表于* 2004-10-17 05:28:00

上海纳微真空公司销售俄罗斯RF离子源（Kaufman型），Hall离子源，阳极层离子源，价格优惠。

我们还销售德国最新ICP离子源（也是RF离子源内），面积可达1平方米以上。特别适用于高等级光学镀膜。

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nanovac1 · *发表于* 2004-10-21 19:49:00

Kaufman离子源和RF离子源都是栅格式，即由两层或三层栅格抽取离子形成离子束。其共同特点是离子流密度和离子能级可以独立调节，离子能量带宽集中，这类离子源一般用于光学镀膜中。Kaufman离子源的等离子体由其腔体内的阴极产生，而阴极是损耗件。RF离子源的等离子体有RF耦合而成，无损耗件。栅格式离子源的一大缺点是离子束流量有一个极限值。

霍尔（其实应叫终端霍尔）离子源不用栅格。但需要加一个中和源（一般是钨丝）。其离子能量带宽较分散，但粒子流两正比于器体流量。与霍尔离子源同类的还有一种阳极层离子源，一般多用于大型工件镀膜。

RF离子源不仅仅日本能造，美国，德国，前苏联都能造。

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