Veeco Mark II 离子源的一个问题？（希望大家能帮我支支招）

wlinliu · *发表于* 2012-1-30 00:01:27

充氧气是会出现波动比较大，氩气应该不会

神州八号 · *发表于* 2012-2-8 09:08:13

多为接触不良

Guoyl · *发表于* 2012-2-9 13:59:04

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xiao2011 · *发表于* 2012-2-11 02:32:01

魅力薄膜 · *发表于* 2012-8-24 02:38:37

lkai1014 · *发表于* 2012-8-24 07:56:55

学习

曲终人散 · *发表于* 2012-8-24 10:39:52

气体分配板的问题

Aaron-Lee · *发表于* 2012-9-4 14:14:00

學習..

wuyongren031 · *发表于* 2012-12-3 21:15:01

我认为充氧阀漏了，我也碰到过，或是你的氧气瓶在漏，这样进去压力或高或低，造成中和不稳定，造成离子源工作不稳定。

ouyuu · *发表于* 2012-12-5 23:06:36

MARK II最早就是我做的啊。那时还是卡夫曼博士开的公司，后来卖给了VEECO。

你用的MARK II是空心阴极的源还是灯丝的（看描述像空心阴极的）
看起来像打火，估计是充氧导管没装好。
（充氧口到护板必须装导管，防止氧气进入护板和真空室壁之间）
空心阴极中和器只使用氩气，要注意纯度，最少5个9，
气瓶装好后开阀门之前要先将管路全部抽真空