镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？

光斑固定，速率大小决定功率大小，Tooling决定实际厚度

jionboy 发表于 2012-1-16 12:44
光斑固定，速率大小决定功率大小，Tooling决定实际厚度

蒸发舟使用的次数不一样，影响功率的大小，但是不影响速率，试问可不可以单独控制功率，因为功率影响温度，所以我想功率相对小点，镀膜温度就低一点。

虽然没看到啥，但是还是很不错

路过学习学习，是个好习惯

想夜的雨 发表于 2012-1-12 21:20
因为现在大多数是PID控制，所以功率，与速率有直接正比关系，但是速率还与一个因素有关，就是光斑，直接决定 ...

请教下您，那我tooling值大于100%算是挡板过小，那么tooling值小于100% 算是挡板过大么？
貌似不能直接这么理解吧？
关挡板时机是晶振计算已经达到目标值厚度，然后就发出关挡板的指令，就算这样，也不能是挡板过小造成的tooling值小于100%吧？
难不成是这么理解，关闭挡板时刻，仍然有些膜料在往上面蒸镀，那么这个时候晶振就要采用预算的方式，提前一段时间关闭挡板，那么就可以用预算的时间来解释tooling值，大于或者小于100%，但是还是不能解释挡板的过大吧？

有详细的解释没？