离子源与镀膜

可参考韩一真空镀膜机

可以不充氩气，只充氧就行了
均匀性在你定好离子源角度后重修修正板。

1 离子源本身的均匀性范围是多少，比如它能覆盖多大的半径？
2 修正档板调了没有?
3 离子源角度调了没有？

另外，理论上讲，离子源的任何参数变动后，都会影响到其均匀性。得重新调整修正档板。