中心波长漂移问题

E501559 · *发表于* 2012-4-27 08:28:54

如果在同一个条件下，建议换另一家的晶振片试一下；

*发表于* 2012-9-6 05:36:06

路过学习学习

fql3310 · *发表于* 2012-9-14 20:51:49

镀薄镀厚在于电子枪灯丝，它受环境影响的表现形式在于高压束流。这种96.4%－104.1%的系数问题是较好调过来的。如果镀膜的要求更高，要学习VEECO机，2*10－4帕的起始真空，充气改用干净气体充气，还有冷扩散泵（零下200度以下）。

funky5043 · *发表于* 2012-10-17 13:38:01

是電子槍蒸鍍? 還是濺鍍?
若是濺鍍, 因為長期使用靶材, 靶材厚度改變造成鍍膜光譜平移微飄也是個因素.

lovemannyzhu · *发表于* 2012-10-17 22:34:24

段取时间要恒定！

wazxq · *发表于* 2012-10-24 09:25:25

国产机能作什么样的窄带，半宽多宽的，窄带是敏感膜系，不稳定才是正常的

zhenxing · *发表于* 2012-10-24 10:14:14

鍍高精度的窄帶膜是需要光學監控的。難以置信樓主靠國產JJK的晶振片來監控（建議使用INFICON).
這是鍍膜最有技術難度的問題，涉及到的因素太多了！只有親臨現場才能找出真因。

李昌瑞 · *发表于* 2012-10-25 19:30:02

dreamwithin 发表于 2012-4-14 11:09
设备是成都真空机械厂的，充气装置为压控和流量计两路，冷热水切换没有。无论使用流量计还是压控仪，结果都 ...

成都的南光机重复性的确不太好做,就算操作条件一致,波长偶尔也会发生漂移,它的这个电子枪也不怎么样,控制得不是很稳定.晶振对厚度的控制上,产生的偏差比较大.

相伴/sun天涯 · *发表于* 2012-10-26 13:14:47

LOUYC · *发表于* 2013-7-23 11:29:42

crl0129 · *发表于* 2013-12-8 15:18:18

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