膜厚分布与补正板修正

zhm1988 发表于 2012-6-15 13:20
蒸发镀膜 现代南光机器 一个蒸发源 无离子源辅助

加热机是吧？
人为调整DOME 上各组加热的功率。
温度均匀了折射率不均匀，那你可以通过调整温度，让温度变得不均匀，得到均匀折射率。
你可以试试。

wangxudong1227 发表于 2012-7-2 14:01
加热机是吧？
人为调整DOME 上各组加热的功率。
温度均匀了折射率不均匀，那你可以通过调整温度，让温度 ...

这个建议不错，可以试试，还在解决中。。。。。。

1.使用金属的温度计,真空压力 时间稳定,看下实际的分布温度状态进行校正
2.a膜厚分布可先不加修正板进行单层蒸镀测量各测试片的分光曲线,b再任意加块对称的修正板在蒸镀次
根据各相对应点位置曲线进行对比，（点对位置是指测试片同修正板的相对应点）c再根据修正板各
点位置对称宽度变化，来调正膜厚分布。

呵呵，我们也是这个问题

补正板是什么东西啊，怎么还有折射率？

xubigbear 发表于 2012-12-17 17:56
补正板是什么东西啊，怎么还有折射率？

因为蒸发角度的关系，药材蒸发到产品上的厚度是不均匀的。
为了使其厚度均匀，所以需要用补正板（也有叫修正板的），
挡掉偏厚处的多余药材。

但因为蒸发高度不一样，药材到达产品的状态是不一样的，
这样会导致膜的密度不均匀，所以会有离子源辅助镀膜。
在没有离子源的情况下，也可人为调整产品的温度，
来修正密度的偏差。

学习，膜

沉积速度会直接影响折射率的，南瓜没用离子源，试试改变真空度、EB电流罗

最近也遇到这种问题，请老大们指教。。