请教：AL2O3 折射率的控制

littlefun · *发表于* 2004-9-16 16:21:00

得到结果了，说一下采取的方法撒，也给其他人指条明路。

ic5 · *发表于* 2004-9-16 16:30:00

是啊，DANNY，这些经验性的东西和大家共享一下啊，说说你采用了什么方法了？？？

DANNY · *发表于* 2004-9-18 16:31:00

我分别使用日本昭和镀膜机和成都镀膜机做了实验（都不带离子源）

日本昭和镀膜机Al2O3 折射率基本能保持在1.63以上，甚至能达到1.65

成都镀膜机每次结果不一样，还没有解决彻底解决方法！

要点：1）真空度大于 3.0*10E-4 Pa 2）基片加热 300°C 3）不加氧气 4）Al2O3 放气充分

pangkebai · *发表于* 2012-6-13 21:41:20

不加氧气怎么可能是氧化物呢

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