坛子里有没有作磁控溅射镀膜的

以下是引用whpe2000在2005-3-23 17:26:02的发言：

实际上目前应用于大规模镀膜生产的设备以磁控溅射设备居多

特别是在幕墙玻璃和其它高端应用(高质量的金属反光镜、ITO等).

还有一点就是目前磁控溅射中使用的TWINMAG技术已经突破了

其速率低的瓶颈.其速率已经和蒸发不相上下（个别金属除外）.

关于twinmag技术，我很感兴趣，翻译成孪生靶溅射技术当否，不知能不能提供一些相应资料

我现在从事TCO薄膜相关研究，目前的设备为倾斜对向直流磁控溅射

以前做过磁性薄膜（巨磁阻相关），同行不吝赐教

我的mail： faverkissjp@yahoo.co.jp

哦！明白

我自己到网上查公开的资料先，呵呵

谢谢提供信息

我也是做磁控溅射的.

以后多多交流.

我们用的设备是沈阳聚智的，没有用过楼上说的国外的，真想见识

介绍一下是做啥的啊

我现在主要是做高反射膜，用二氧化钛和二氧化硅交替镀，其实老板并不是做光学薄膜的，所以一切都要自己从头开始做起，不过我们并不是将其应用于光学上，而是想做一套传感系统

高反啊，我还想做点增透膜的东东呢！主要是做TCO膜与基板的过渡层，看看有没有增透效果，我也是刚做，都不知道从何着手，烦

我用磁控溅射的方法做过增透膜效果很好

我担心的是界面的问题，另外问一句，膜结构设计用的是什么软件啊？？

偶现在是matlab自己拿公式套，呵呵

SiO膜做过渡层，界面O扩散严重？（证明中）影响主要薄膜性能

我们公司新进的磁控镀膜机，主要镀金属膜，可以交流一下啊，QQ：6459720