IR-CUT镀后麻点

看镀前白片是不是洁净

膜料工艺方面控制以下好

主要是镀膜材料的纯度，以及镀膜时的温度／真空度／膜腔的清洁度的问题，喷点问题

点子问题哪里都有，烦不烦，就看客户的要求了。

基板，洁净室，真空室，真空系统，材料纯度，材料预融，蒸发条件，坩埚种类（有些材料需要定制），电子枪控制系统，离子源，操作人员素质。。。

相关的条件尽量控制，相信点子问题都能逐步改善，除非客户要求实在太高。

原帖由 huhu 于 2007-7-1 17:39 发表
点子问题哪里都有，烦不烦，就看客户的要求了。

基板，洁净室，真空室，真空系统，材料纯度，材料预融，蒸发条件，坩埚种类（有些材料需要定制），电子枪控制系统，离子源，操作人员素质。。。

相关的条件 ...

镀得层数多，麻点应该比较难以避免，如果腔内洁净的话，这与膜料的纯度，与SiO2的蒸发速率有很大关系,使用的SiO2纯度一定要好！

感谢各位朋友为OBC支招，OBC在这里谢了

其实家家都有点子问题,估计用VEECO的会好点.
所以人人为我,我为人人

Ma_Malp (↑尐混疍‰)

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还好此问题我已经基本上解决了,不过为了解决此问题公司还是花了不少地银子,哈哈(偷笑,反正花的不是自己的钱)

说来听听怎么搞的，大家分享分享嘛