线性渐变滤光片镀制挡板设计

qs2784 · *发表于* 2013-8-19 22:51:19

看起来好复杂的样子

ouyuu · *发表于* 2013-8-20 23:39:53

确实很复杂。实际大规模生产的设备中不会那么复杂。
像我们的设备，经常会镀3到4种膜料，也就要用到3到4套修正板，
要是像他那种形状，是没法切换的。

另外，有些膜系要镀100层以上，像这种修正板，
遮挡面积那么大，晶振上要积累多厚的膜啊。
估计镀到一半就要开门换晶振片了。

另外，速率也会大打折扣，膜的牢固度也会有问题。