求助：真空镀膜机蒸发铝

deveitu · *发表于* 2004-9-9 22:26:00

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vacuum · *发表于* 2004-9-21 18:29:00

會不會你的電子槍打歪了呀

zxp163a · *发表于* 2004-9-23 06:13:00

钼不适宜用来蒸发铝，最好的办法是用钨丝作热源蒸发，效果最好。

bsrf · *发表于* 2004-9-23 07:13:00

难道用磁控溅射不好吗？

zz · *发表于* 2004-9-23 17:57:00

好，简直太好了

xiaohe · *发表于* 2004-9-23 23:05:00

真是学问大长呀我.

阿俊 · *发表于* 2004-10-18 16:51:00

镀铝最好是用钨舟比较实惠，也比较实际

金属膜尽量使用阻抗蒸发，电子束打出的电子会影响膜的附着

guangang · *发表于* 2004-10-18 17:53:00

鍍鋁還是用電子槍好一些，膜層強度要比熱蒸發好一些，但最好使用和金屬不相浸的坩堝，導熱型差一些的好，否則熱量很容易散發掉，要用很大的電子槍功率才能達到不很高的蒸發速率。至於2次電子，鍍什麼膜的時候都會產生，這麼說不是什麼膜都不能鍍了麼？那還要電子槍做什麼？

LQF · *发表于* 2004-11-1 07:20:00

如不稳定你来找我。

showashinku · *发表于* 2004-11-2 00:20:00

钨钼蒸发舟都可以

tangjindao · *发表于* 2004-11-5 00:24:00

用紫铜的坩锅镀什么问题都没有，

wuming791025 · *发表于* 2004-11-7 04:35:00

呵呵，我门用E-GUN的时候，直接在坩埚座上融铝，再蒸镀，不用坩埚

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