AR膜大曲率边缘膜层附着力不良

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牛人真多
我还以为半球要镀匀了除改镀膜方式或设计专用夹具外,还能有这么多其他可能

可加离子源试试哈
1、换行星旋转
2、提高真空度
3、提高温度

1 加离子源吧！提高一下膜层致密度，会好点！
2 如果你说的是宽带，冲氧真空度也挺重要。
3 可以试一下，先镀膜后磨边。
一点拙见，仅供参考。

也在镀近半球形的大曲率的东西，用行星架，倒是没发现附着力的问题，但明显耐磨擦性能最边上要差太多。 不过，即使用行星架，由于曲率太大（半球），膜层的均匀性还是很差，转速，摆角改变都改进不大。

第一,研磨问题,镜片边缘最后抛光的时候基本抛不到,边缘的光洁度较差;
第二,清洗时边缘清洗不到位(凹面比较严重些);
第三,镀膜蒸发角度的问题,再前2个问题解决后,可以试验只放工件盘的中上部看看;

主要原因是薄膜与基底入射角接近了“0”度，解决办法使用离子源、提高温度、膜系改善

楼上的,入射角接近0度用离子源能改好吗
怀疑ING

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Lxykoko 发表于 2009-2-26 22:16

多镀几层，膜厚度增加？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？

shutter 的问题    ，况且外围膜层最薄