一楼有啊
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工艺不同但很多东西还是相通的。我认为SIC晶体加工的经验还是很重要的,其加工与蓝宝石加工还是很相近的。至于生长对于经验的要求要低一些,但绝对不是有无经验一样,晶体生长其实是一个综合性的技术,不知您同意否?我们的步骤大致是首先看简历、通电话(北京以外)、面试,在这些过程中进行考察。至于能力的着重点难说,只能说综合考虑吧。
请问,是要做材料?还是器件?
作材料,SIC晶体生长与加工
目前全世界只有美国Cree公司独家垄断从SiC单晶生长、晶片加工、外延片、芯片至SiC器件完整之量产技术,并已开发成功4英寸SiC单晶产品,2002年实现营收超过2亿美圆,占全球SiC市场90%以上。
近日,中科院物理所陈小龙研究员领导的科研小组在SiC晶体生长方面取得了重大进展。他们在自行研制的高温生长炉上,解决了物理气相传输法中生长SiC晶体的一些关键物理化学问题,成功地生长出了直径为2英寸的SiC晶体,其X-射线衍射摇摆曲线达到2弧分,微管密度已少于100个/平方厘米(10x10平方毫米样品),这些表征SiC晶体质量的重要参数指标超过了目前Cree公司的部分商品的指标,为SiC单晶的国产化奠定了基础。
从实验室到产业化还需要下苦功夫,愿楼主好运!
谢谢鼓励!!
晶体生长
单晶生长是用籽晶——升华法在2000℃以上的温度下进行的。一般6H或4H SiC在面上生长,这种晶体沿〈0001〉晶向常有微管道,其数量在不断下降,目前直径2英寸的4H –SiC中微管道密度已低至1.1/cm2,但位错密度仍达103~104/ cm2。通过掺杂可以控制其n.p型电导。从低阻,10-3Ω.cm,到绝缘性(1015Ω.cm )。直径100mm SiC单晶也已研制成功。高温CVD作为一种新方法用于生长单晶。在(1120)面上生长出了无微管道的晶体,且堆垛层错密度也低得多。利用台阶控制外延技术,在~1500℃温度下,在偏离6H—SiC的(0001)晶向生长出高质量同质外延层,这有力促进了各种SiC器件的研制。外延生长中所用源气为SiH4和C3H8,载气为H2,N2用于n型掺杂,三甲基铝(TMA)或B2H6用于P型掺杂,典型生长温度为1500~1600℃;生长面与一般Si、C面向[1120]晶向偏角3.5°(对6H-SiC)和8°(4H-SiC);表面形貌和台阶聚集对器件研制至关重要。也使用过向其它晶向偏离的衬底。研究了源气中Si/C比对载流子浓度的影响。使用了各种反应器:水平热壁、垂直冷壁、垂直热壁、多片行星式、高温CVD和行星式热壁外延反应器等。在CVD开始前利用Si碳化可生长大面积异质外延3C- SiC,已在波纹式Si衬底上生长出直径150 mm的3C-SiC外延材料。
yvo4的也可以。
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