我们低欧姆品做的多,3-10ohm,高的都不想做了
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我也是做透明导电薄膜的!不过用的直流和脉冲复合磁控溅射镀膜设备,而且用了离子源辅助沉积手段,希望大家可以多多交流,共同进步!QQ:34130369
EMAIL:wangyonglin1980@126.com
[B]以下是引用[I]nittohai[/I]在2005-3-23 10:26:00的发言:[/B][BR]可能是磁控溅射薄膜沉积速度比较慢,产能不大。不过其薄膜质量确实非常的好。我认为随着磁控溅射技术的发展,它在光学镀膜上会用的更多。
有的,而且是在LCD-ITO上很成功的厂家,你真的需要吗?可以联系我
第10楼的朋友,你是用SHINCRON的RAS磁控溅射镀膜设备吗???
请回复YAOCS633@126.com
SHINCRON公司开发的RAS系统主要是针对大批量的生产,投资可能比电子枪的高一点,但是效率也比电子枪的高很多。如果你是大批量生产的话,应该还是比较合适的.但其设备对于研发型的单位来说,可能有点浪费;并且做非常的大的片子(大于直径300mm),会比较难处理;切应力相对较大。
Dear Mr WRA:
進來了,也不跟老哥門打聲招呼,
下次來吳江KEY你.
哈哈哈哈哈
我在南京14所做这个工艺!呵呵!有需要帮助的话和我联系!qq 52453090
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