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标题: MEMS继电器典型结构及其研究进展 [打印本页]
作者: 测试    时间: 2011-10-8 09:10
标题: MEMS继电器典型结构及其研究进展
综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构,包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器,并对各种类型微继电器的特点进行了比较。

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