锗窗口上沉积DLC膜致其面形变化的原因初探.pdf
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LILISRLHJ 发表于 2017-5-9 18:08 应该还是锗透镜本身应力的问题吧!面型对温度比较敏感,但DLC一般都是常温,应该不会有这么大影响
coaterxf 发表于 2017-5-12 22:39 硬碳膜的应力很大。镀膜前的面型和镀膜后的面型不同,逻辑上来分析只能是硬碳膜内应力造成的。