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标题: 锗球面窗口镀DLC膜后面型发生变化原因探讨 [打印本页]

作者: oecr-xjh    时间: 2017-5-2 22:21
标题: 锗球面窗口镀DLC膜后面型发生变化原因探讨
向各位业内专业人士请教,关于锗球面窗口镀DLC膜后面型发生变化原因,是锗材料内部的原因还是膜层应力导致的呢?

锗窗口上沉积DLC膜致其面形变化的原因初探.pdf

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作者: LILISRLHJ    时间: 2017-5-9 18:08
应该还是锗透镜本身应力的问题吧!面型对温度比较敏感,但DLC一般都是常温,应该不会有这么大影响

作者: coaterxf    时间: 2017-5-12 22:39
LILISRLHJ 发表于 2017-5-9 18:08
应该还是锗透镜本身应力的问题吧!面型对温度比较敏感,但DLC一般都是常温,应该不会有这么大影响

硬碳膜的应力很大。镀膜前的面型和镀膜后的面型不同,逻辑上来分析只能是硬碳膜内应力造成的。

作者: LILISRLHJ    时间: 2017-5-25 12:26
coaterxf 发表于 2017-5-12 22:39
硬碳膜的应力很大。镀膜前的面型和镀膜后的面型不同,逻辑上来分析只能是硬碳膜内应力造成的。

恩,我们也准备做这方面的测试,看看到底有多大影响!

作者: sgh920    时间: 2019-4-29 15:47
学习受教了多谢分享




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