用于制作FBG光纤光栅的Lasiris全息相位掩模板

sungn · 发表于 2010-8-20 16:25:29

相位掩模板（PM：Phase Mask）其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅，可以通过对入射光的位相调制，衰减或消除零级衍射，并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是，用UV光照射相位掩模板，然后利用衍射光束之间的干涉，在掩模板后面形成周期的光强分布，从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。

Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司，1999年被实力雄厚的StockerYale收购，并得到了更大的发展。其特点包括：
一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式，减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。
二是基底材料采用熔融石英，损伤阈值比较高（一般情况下都要比照射的激光光强要大。
三是长PM可以做的较长，最长可达120mm。

Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下：
工作波长    190 - 800 nm
pm周期       0.4 - 1.2 μm
模板周期精度    ±0.3 nm (±0.1 nm可选)
周期测量精度    ± 0.02 nm
基底/窗口尺寸可根据要求定制
啁啾范围(啁啾) 0.03 nm/cm - 40 nm/cm
啁啾精度          0.005nm/cm - 1 nm/cm（随啁啾改变）
损伤阈值       优于1 j/cm^2（248nm，50hz脉冲光的光强）
衍射效率       0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 %
            0级衍射<=1.0 % ，±1级衍射>=35 %（可选）
AR coating    可选
楔形角       < 30 arcsec
衬底材料    康宁7980，熔融透明石英
厚度          3.175 mm ± 0.125 mm

另外，还可以根据要求定制特殊样式的相位掩模板。

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