一种评价CCOS抛光工艺误差抑制能力的方法

风轻扬 · 发表于 2015-7-12 19:26:59

一种评价CCOS抛光工艺误差抑制能力的方法
A Method to Evaluate the Error Restraint Ability of CCOS Process
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作　　者：王佳[1,2] 范斌[1] 万勇建[1] 施春燕[1] 卓彬[1]
WANG Jia, FAN Bin, WAN Yong-jian, SHI Chun-yan, ZHUO Bin （1 Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences , Chengdu 610209, China; 2 University of Chinese Academy of Sciences ,Beijing 621900, China）
机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所,成都610209 [2]中国科学院大学,北京100049
出　　处：《光子学报》 CSCD 2014年第7期 184-187页,共4页
Acta Photonica Sinica
基　　金：国家自然科学基金（61378054）资助
摘　　要：结合光学加工中材料去除的卷积模型和功率谱密度函数，建立了描述CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的数学模型——平滑谱函数．利用Rigid Conformal磨盘抛光620mm口径微晶平面玻璃，通过计算平滑谱函数曲线，将CCOS抛光工艺抑制不同频段误差的能力表示为归一化且无量纲的频谱曲线．计算结果表明平滑谱函数曲线能以数值大小评价CCOS抛光工艺对不同频率误差的抑制能力．
Base on the convolution model of material removal and power spectral density function in optical manufacturing,a mathematical model named smoothing spectral function was established.A Zerodur plate mirror with diameter of 620 mm was polished using Rigid Conformal tool.By calculating the smoothing spectral curve,the error restraint ability of polishing process can be expressed as a normalized and non-dimensional spectral curve.The calculated result indicates that the error restraint ability of polishing process can be evaluated by the value of smoothing spectral function curve.
关键词：光学加工平滑谱函数功率谱密度中高频误差卷积模型
Optical manufacturing ; Smoothing spectral function ; Power spectral density ; Middle spatial frequency error ; Convolution model ;

[技术] 一种评价CCOS抛光工艺误差抑制能力的方法

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