各位帮忙回答下

zouyou828459 · 发表于 2014-5-9 21:51:15

各位有单独用晶控做监控镀制中心波长在500至600纳米的任一单波长，半带宽的9至11纳米、截止深度为OD3的窄带吗，你们做过的帮忙分享下你们的成果，因为我有个产品就是做种类型，我的产品要求是400至800截止深度OD3，中心波长在500多，半带宽要求10正负二纳米，我这边的机器有IC 晶控仪，但监控SIO2就是速率控制不好，有深冷，没离子源，不知道能不能镀制这么高要求的产品，求各位分析下，另外我这里的日立U-4100分光光度计无论是测透过还是反射，其测量结果不稳定，测一个K9白片的透过时其测量一会儿一会儿低，但都比理论透过高0.5%以上,这种不稳定现象你们遇到过吗？

zouyou828459 · 发表于 2014-5-15 12:10:02

本帖最后由 zouyou828459 于 2014-5-15 12:20 编辑

这种膜系也可以去试的，只要你TI和SI的匹配够准还是能够达到你想要的要求吧，在我公司之前的那个技术员就是用这种方法做的，我看了峰值能够达到85%，但是截止深度有些问题，就是那个600多的地方不行，我想对于这个产品就像我之前说的那样，第一次做并且下手这种膜料，肯定是先镀个副膜观察一下光谱曲线再调整各项参数，当然如果你经常做这种类似产品，那可以像你那样一个面把它镀了，前提是要保证结果是好的。

zouyou828459 · 发表于 2014-5-15 12:04:14

rollo_tomasi 发表于 2014-5-15 07:31
恭喜恭喜！
减了4个波长？
什么意思？没太明白！

减了4个波长那是因为我第一次试镀主膜后发现波长长了4个NM，所以要减4个波长，至于你说的波长漂移的问题，我是用沸水连续煮了两个小时再测的，这样子得出的波至少能够达不水煮到所使用半年以上的波长漂移量，当然这是我猜测的。昨天我把第一次主膜试镀的几个产品拿去烘烤，想把波长烤回来，结果波长没烤回来但是峰值透过却从70%烤到了87%，要知道我用的是JB535的有色玻璃，我在镀好副膜时测得在546那里只达到了90%的透过率，那说明此时这个主膜面的透过率应该非常高了，这有点不可想像，难道是我那次镀出来吸收很严重了。

rollo_tomasi · 发表于 2014-5-15 10:02:02

2L (HL)^2H 2L (HL)^5H 2L H(LH)^5 2L H(LH)^2 L
1.35(0.5LH0.5L)^7
刚闲了一会儿，做了一个膜系，参考波长550nm，半带宽10nm，带通+短波通，优化了1、36、37、38和最后三层，理论曲线如图，希望帮到你！
基底选用JB型号的有色玻璃！

rollo_tomasi · 发表于 2014-5-15 07:31:37

zouyou828459 发表于 2014-5-13 20:44
呵呵，我成功了，如你所说，我用的基底是有色玻璃，之所以要用两个膜系去镀那是因为我这里的IC6膜厚仪镀S ...

恭喜恭喜！
减了4个波长？
什么意思？没太明白！
不过还是建议你隔一两天测一下曲线，确定无漂移了再送给客户！

zouyou828459 · 发表于 2014-5-13 20:44:52

rollo_tomasi 发表于 2014-5-13 08:10
波长的飘逸主要是膜层的致密性导致的，光看真空度，没有离子源，其膜层本身也很疏松，放在空气中吸潮后的 ...

呵呵，我成功了，如你所说，我用的基底是有色玻璃，之所以要用两个膜系去镀那是因为我这里的IC6膜厚仪镀SIO2 时速充很不稳，而且越不稳定时镀实际镀上去的SIO2越少，这是我总结出来的，这次镀产品也不稳，但结果还比上炉的透过率还高有80%多，带宽的话在12正负零点3,感觉这次也没做什么改动就是照原来的膜系把带宽压低到12,减了4个波长而已,对这次的的镀膜自己都感到意外呀.

rollo_tomasi · 发表于 2014-5-13 11:18:33

楼上说的不错，既然只能用晶控，那膜系就可以全部优化，达到同样的目标值，膜层层数也会少一点。
最难的就是Tooling值，这个只能看个人造化和机器重复性了，谋事在人，成事在天！

cqzxcl · 发表于 2014-5-13 09:45:07

用你说的机子可能是函一的吧，没有光控不要紧，关键就看你的ic/5怎么样了若果凑活的话应该是可以达到要求的，就用长短通膜系全优，还有就是关于带宽的问题那就得看你的材料做得准不准了。设计的时候可以适当放宽半带宽。若用窄带膜系光控也不一定能做出来，腔层对的不准的话透过率也会很低的。我觉得用晶振做窄带就是看运气。

rollo_tomasi · 发表于 2014-5-13 08:04:59

非得要用K9玻璃么？
我觉得楼主可以考虑在有色玻璃上镀膜，这样至少正面膜系会简单许多，只需要一个带通就好了。背面再镀一个AR就好了！

zouyou828459 · 发表于 2014-5-12 22:24:02

本帖最后由 zouyou828459 于 2014-5-12 22:26 编辑

rollo_tomasi 发表于 2014-5-12 09:18
这个事情太难，首先晶控就是一个大Bug。先不说随着时间推移波长红移的情况，光是随着机器使用状况的不同，T ...

试试看，有些东西有机会给试那就试，反正做不出来也没什么损失，还可以给自己积累经验，要知道，我做这个产品，昨天夜里一个人忙到快十二点，忙了就有回报的，今天又是十点多钟才下班，唉这个月要发资奖了，为了能多发点我现在是豁出去了

zouyou828459 · 发表于 2014-5-12 22:18:21

我今天通过修改了材料参数及重新设计了膜系，就是把半带宽设计为12纳米，看了一下该膜系比原先还薄了好多，我又试镀了一炉结果，我的那个激动啊，峰值透过率达到了75%以上，可惜半带宽只12.6了,唉不管怎么说悬着的心终于掉下来，要知道老板今天中午又在催我了，要知道这个产品是他叫别的厂家做坏了再拿回来给我做的，时间就只给我半个月，我每天做增透只有一个班一天平均四炉，还得做这个东东，如果说今天做不出来那我可能就会放弃了，这得感谢我的师父啊，每当有困境时都能从他那找到启发！

zouyou828459 · 发表于 2014-5-12 22:03:07

qjy 发表于 2014-5-12 21:30
真的非常非常的佩服加仰视楼主！竟然能够用长短波通的膜系做精度要求这么高的滤光片！真是遇到高手中的高高 ...

对于窄带膜系设计我懂得不是很多，都是以前学到的一些皮毛现在要用的时候现拿来用呀，我知道论坛的高手很多，所我这个贴出来是请各位一起聊一聊做窄带滤光片的一些话题，拜托就不要挖苦我了。

zouyou828459 · 发表于 2014-5-12 21:54:54

rollo_tomasi 发表于 2014-5-12 09:13
没有离子源，而且用晶控监控Ti3O5和SiO2镀多层介质膜，千万别忘记温飘的问题：也许镀完当天测量波长位置正好 ...

是啊，我知道，因为我之前的公司就是专业做窄带的，我现在的机台没有那种带冷却水的霍尔类子源，但是有深冷，镀前真空能达到十的负四次方，所以相对来说漂移量没那么大。

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