光电工程师社区

标题: 那位高手知道如何清洗石英晶片? [打印本页]

作者: xueyan 时间: 2005-7-20 21:30
标题: 那位高手知道如何清洗石英晶片?
抛光好的晶片上残留着很多氧化铈，很难清洗干净，不知那位高手可以告诉一下。

作者: xiaoyu 时间: 2005-7-23 00:50
用超声波加清洗剂清洗

作者: ilycjf 时间: 2005-7-25 03:11
我能帮你解决，有兴许交流一下！0572-7870080/ilycjf@21cn.com

作者: laijf 时间: 2005-7-25 18:32
如果，把侧面的过一下细砂应该回好一些。

作者: jody 时间: 2005-11-26 20:21

清洗剂纯水 50-60度多次清洗

超音波

作者: xtal 时间: 2006-12-8 16:06

法一(洗淨前晶片要是乾淨的, 最好etching後立即洗淨)

1. 清潔劑(洗碗精) 沖水

2. 鹼沖水

3. 酸(HCl) 沖水--沖熱水

4.IPA脫水

法二

1. HCl+H2O4 沖水

2. 鹼(白色粉泡水) 沖水

3. HCl+H2O4 沖水--沖熱水

4. 微波

5. IPA 脫水

作者: xtal 时间: 2006-12-22 20:00

酸鹼洗淨流程圖

酸洗淨(6分鐘) 硫酸硝酸混酸(1:1)的更換,每週2次

↓ ----------------------溫純水煮沸(6分鐘)

鹼洗淨(6分鐘) C-709C 鹼液交換1星期2次

↓ ----------------------溫純水煮沸(6分鐘)

酸洗淨(6分鐘)

↓ ----------------------溫純水煮沸(6分鐘)

溫純水煮沸(10分鐘)

↓

溫純水超音波(10分鐘)

↓

溫純水沖洗

↓

IPA超音波(2分鐘)

↓

IPA超音波(2分鐘)

↓

乾燥

材料部品

晶片

硫酸(EL)

硝酸(EL)

C-709C

IPA

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