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[讨论]紫外石英镀制350nm---1500nm的增透膜,平均透过率多少?
类金刚石薄膜作为新型的薄膜材料,具有优异的红外光学、力学、电学、声学、热学等性能,具有广阔的应用范围。 采用脉冲真空电弧离子镀技术来研制类金刚石薄膜。这一新技术目前在国内只有西安工业学院独家掌握,采用这一新技术镀制类金刚石薄膜的优点有:⑴膜层性能稳定;⑵3.4μm处无吸收峰。脉冲等离子体镀膜技术制备类金刚石薄膜的关键设备,是脉冲等离子体发生器(也称脉冲电弧离子源)。它利用真空脉冲电弧放电使石墨电极蒸发并电离,形成纯净的碳等离子体,沉积在基片上之后形成类金刚石膜层。由于在整个工艺过程中只产生纯碳等离子体,不需要氢及其它含氢化合物,所以获得的膜层中不含氢,质量稳定,可在低温下生成表面光滑细致且附着力极好的高质量膜层。 我实验室自八五以来与白俄罗斯有关专家合作研究脉冲电弧等离子体技术,其科研成果脉冲多弧离子源的研制技术处于国内领先、国际先进水平,获1999年部级科技进步二等奖。九五课题脉冲多弧离子源和类金刚石薄膜的应用研究已通过部级鉴定,达国际先进水平。目前我实验室在硅、锗基片上成功地镀制了类金刚石红外增透膜,在3~5μm和8~12μm区域平均透过率超过95%,膜层附着力好,可耐磨、耐高低温、耐化学腐蚀。
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——光学薄膜产品Optical Coating Products
类别 规格指标(可见、近红外波段) 用途
窄带干涉滤光片 带宽≥15nm,背景0.1%~0.01% 光学测试,光谱分析
干涉截止滤光片 短波通:λc 400~730nm,
通带T≥85%,阻带T<1% 光学测量,光谱技术,CCD镜头,消红消蓝
长波通:λc 400~1000nm,
通带T≥90%,阻带T<1%
硬膜分色滤光片 红绿蓝黄品青,通带T≥80%,
背景T<1% 颜色光学,光学分色
硬膜激光反射镜 λ0:632.8nm,650nm,780nm, 1.06μm, R<99.8% 激光系统,CD、VCD、DVD拾讯头
分光镜 介质膜分光镜:400~700nm T/R 50/50,60/40,70/30,80/20 精密光学仪器
金属膜分光镜:400~2000nm T/R 50/50
金属介质膜分光镜:
400~700nm T/R 45/45
金属膜反光镜 Au,Ag,Al 精密光学仪器
宽带减反射膜 450~650nm,剩余反射率≤0.5% 精密光学仪器
光纤增透膜 900~1600nm,剩余反射率≤0.25%. 光纤通讯用无源器件
双波长消偏
振分光镜 立方棱镜:650nm,T P、TS=50±5%,|T P-TS|≤5%; 780nm, T P、TS≥90%,|T P-TS|≤3% DVD拾讯头
平板玻璃:650nm,T P、TS=50±5%,|T P-TS|≤5%; 780nm, T P、TS≥90%
塑料镜片增透膜 PS、PC、PMMA、CR39表面宽带减反射, 剩余反射率≤0.5% 摄影镜头,眼镜片
ITO膜 玻璃、塑料表面透明导电膜 液晶显示,透明电极,热反射涂层
FWDM用滤光片 980/1550nm,1060/1310nm,1310/1550nm,1480/1550nm,
插入损耗0.4~0.8dB;
隔离度14~20dB;带宽±5nm 光纤通讯
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