双枪镀膜机均匀板的修整方法快、准、狠

rollo_tomasi · 发表于 2014-2-25 11:32:12

对与带有双电子枪的镀膜机来说，修整高、低折射率材料的膜厚之比很是麻烦。但是我介绍的这种方法，简单实用，一步到位，希望对大家有帮助！
1、镀一个7层的1/2波长厚度的膜系：2H2L2H2L2H2L2H，由于它在监控波长处全为虚设层，故透射率为极大，而其两侧的两个透射极小值峰对高、低折射率误差极为敏感。
2、若低折射率层偏薄，则短波侧的透射率降低而长波侧的透射峰升高，反之亦然。
3、由此不仅可以了解膜厚均匀性，而且可知高低折射率膜的厚度比是否正确。

苏州膜头 · 发表于 2014-2-25 20:38:50

楼主：弱弱的问下，高低折射率材料的膜厚是同时修正的吗？和膜厚均匀性有关系吗？请说详细点。

wdydede · 发表于 2014-2-25 22:29:13

谢谢楼主的分享，这是好主意！刚用2.2，1.45，模拟了一下，的确比较灵敏，当两者之比为1：1.01，则两个次峰变化达2%，一个上升1%，一个下降1%。

rollo_tomasi · 发表于 2014-2-26 08:30:53

如果对整个镀膜伞修整均匀性的话，主要是修正径向内外圈的厚度差异，还是需要靠一次一次逐步微调。
我这个更主要的是侧重于在使用晶控监控时高、低折射率膜层的比例修正。这个方法比用光度计测量一个SWP膜系不同入射角度的次峰大小来判断两者比例的方法要简单许多！

lkai1014 · 发表于 2014-2-26 10:21:45

可以先分别修正高和低折射率材料的修正板，然后在用HLHLH2LHLHLH做一个BPF来同时修正H和L的修正板

rollo_tomasi · 发表于 2014-2-26 10:46:12

对楼上的说话，我说一点不同意见：如果你的分光光度计可以测量剩余反射率的话，我可以镀一个双层λ/4-λ/4的单点式AR，它的剩余反射率曲线就是一个V型，不是也能很好的看出均匀性的差异嘛！比镀一个11层的窄带通要省时好多！

rollo_tomasi · 发表于 2014-2-26 12:53:44

明白 lkai1014 的意思，就好比增透膜和滤光膜，两者在均匀性上还是有差异的，厚层和薄层也是有差异的！

lkai1014 · 发表于 2014-2-26 13:42:16

coaterxf · 发表于 2014-2-27 14:06:36

五指山法怎么用呢？

qxb2008 · 发表于 2014-2-27 20:03:29

本帖最后由 qxb2008 于 2014-2-28 08:32 编辑

lkai1014 发表于 2014-2-26 10:21
可以先分别修正高和低折射率材料的修正板，然后在用HLHLH2LHLHLH做一个BPF来同时修正H和L的修正板

修正板还分为高低折射率两种修正啊，那怎么能够同时兼顾两者呢？

qxb2008 · 发表于 2014-2-27 20:12:55

本帖最后由 qxb2008 于 2014-2-27 20:16 编辑

请教一下：BPF如何判定是高折射率还是低折射率的问题，是偏多还是偏少。

lkai1014 · 发表于 2014-2-28 00:28:08

qxb2008 发表于 2014-2-27 20:12
请教一下：BPF如何判定是高折射率还是低折射率的问题，是偏多还是偏少。

通过比对HL各组系数的变化来进行修正

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