4英寸菲索干涉仪标准镜头关键技术研究

slyz · 发表于 2017-7-25 20:00:34

下次，把参考面的加工结果补上

ds1234567 · 发表于 2017-7-25 22:03:27

本帖最后由 ds1234567 于 2022-8-19 10:29 编辑

系统最后半径的面形精度很高，因为经此面返回的是参考光束，镜头出射光束是测试光束，测试光路的焦点f必须与参考光路的球心c重合，高志山先生计算△fc=4pv*F^2。比如F=3，pv=1/10λ，λ=0.0006328，则△fc=0.00228mm。我测量了ZYGO的3个镜头，其偏差小于1.5λ，可是高先生认为小于0.0103mm就行。

slyz · 发表于 2017-7-26 20:36:16

本帖最后由 slyz 于 2017-7-26 20:38 编辑

ds1234567 发表于 2017-7-25 22:03
系统最后半径的面型精度很高，因为经此面返回的是参考光束，镜头出射光束是测试光束，测试光路的焦点f必须 ...

谢谢

我测量了ZYGO的3个镜头，其偏差小于1.5λ，
是测量透射波前么？

slyz · 发表于 2017-7-26 20:37:09

参考面加工的结果

ds1234567 · 发表于 2017-7-26 23:18:48

我是按高老师的该文布置测量的。
　实　验
　　图 6 显示了使用干涉方法测量 W P-V 的光路原理。图中由干涉仪 Ⅰ发出平面波 ,透过标准平板 Ⅱ,入射被检标准球波面透镜组 Ⅲ, 入射波面经 Ⅲ的末球面反射,返回的测试波面与透射平板 Ⅱ后表面反射的标准平面波相干涉 ,干涉图由干涉仪Ⅰ中的图像采集系统接收。如果 Ⅲ的 F′, C 重合, 则入射波面经其末球面反射 ,按原路返回 ,出射波面仍为平面波 ;反之出射波面为半径很大的球面波。

我分析干涉仪的平面波和平板的精度都很高，那么由最后R面反射回仪器应当是严格的平面波，因为他是参考波面。只有f与c重合，仪器的两路光束才都是平面波。假如不用那个平板，在出射光焦点处放一个平面也会看到上述现象，不过在焦前和焦后调整时，本来二者不重合，但也可以调成一片干涉色，焦点位置不好找。

ds1234567 · 发表于 2017-7-27 08:36:11

请问，
参考面加工结果与测试结果，是来自两个部门么？
五楼公差表格乱，最后表面1/30是TFRN，还是TIRR？

slyz · 发表于 2017-7-27 15:41:20

本帖最后由 slyz 于 2017-7-27 15:45 编辑

ds1234567 发表于 2017-7-27 08:36
请问，
参考面加工结果与测试结果，是来自两个部门么？
五楼公差表格乱，最后表面1/30是TFRN，还是TIRR？

数据都是我测量的
1/30是面形，算是TIRR吧

公差表重新上传一个图片

slyz · 发表于 2017-7-27 15:44:30

ds1234567 发表于 2017-7-26 23:18
我是按高老师的该文布置测量的。
　实　验
　　图 6 显示了使用干涉方法测量 W P-V 的光路原理。图中 ...

我们就是用该方法来测量镜头的波前

但我一直不知道，如何来定义（不是评价）一个镜头的好坏。
波前到底多少，能满足什么样的需求？

曾经咨询过zygo中国的工程师，但没有结果

ds1234567 · 发表于 2017-7-27 20:27:18

谢谢您的解答。
仪器水平代表工业能力，这种镜头第一关是玻璃的光学均匀性，第二关是加工工艺，第三关是装配工艺，这里面牵扯一些仪器、工具和规程，投入很大才能完善。
目前标准镜头规格在3个档次，Pv值=1λ/10；1λ/15；1λ/20
我记得有网友说，目前干涉仪可以读1λ/1000，重复精度1λ/400；还有紫外光刻机镜头绝对是个挑战，有钱没货。

ds1234567 · 发表于 2017-7-28 20:34:46

你5楼和19楼都把188.41写成-188.41，我带进软件看到负值是笔误。可是Pv=0.18λ，星点也大于衍射圆，我看不到哪错了。请你看看，

ds1234567 · 发表于 2017-7-29 08:01:20

也许问题出在肖特BK7玻璃上，此玻璃是肖特老旧的库里的。

slyz · 发表于 2017-8-5 16:14:08

ds1234567 发表于 2017-7-27 20:27
谢谢您的解答。
仪器水平代表工业能力，这种镜头第一关是玻璃的光学均匀性，第二关是加工工艺，第三关是装 ...

ZYGO已经开始提供1/40的标准镜头。加上系统误差，面形检测精度可达到ＲＭＳ５ｎｍ以下

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