4英寸菲索干涉仪标准镜头关键技术研究

slyz · 发表于 2017-7-23 18:28:51

本帖最后由 slyz 于 2017-7-23 18:37 编辑

近期做了一些4英寸菲索干涉仪标准镜头关键技术研究，发个贴子，与大家讨论，也希望相关领域的大侠们多多批评指正。

slyz · 发表于 2017-7-23 18:29:12

研究过程包括下面四块。
1、需求
2、设计
3、加工
4、集成测试

跳过需求，直接进入到设计环节，给出zemax的设计结果。

slyz · 发表于 2017-7-23 18:32:17

slyz 发表于 2017-7-23 18:29
研究过程包括下面四块。
1、需求
2、设计

跳过需求，直接进入到设计环节，给出zemax的设计结果。

(竟然不会传图片)

slyz · 发表于 2017-7-23 18:32:58

下面是公差表

slyz · 发表于 2017-7-23 18:33:10

元件基本参数元件加工公差装配公差
半径
（mm）厚度
（mm）材料通光口径
（mm）面形公差
PV（λ）半径公差
（Fringe）厚度公差
（mm）元件楔形
TIR（mm）间隔公差
（mm）偏心
（mm）倾斜
（度）
0 光阑 5 102.4 -
1 228.6 13.268 BK7 102.6 1/3 ±1 ±0.03 0.02 ±0.065 ±0.04
2 -188.41 8.966 101 1/3 ±1 补偿±0.2
3 295.1 14.882 BK7 101 1/3 ±1 ±0.04 0.02 ±0.065 ±0.05
4 -1000 20.394 100 1/3 ±1 ±0.02
5 168.66 17.716 熔石英 96 1/3 ±1 ±0.03 0.02 ±0.065 ±0.04
6 297.23 - 91 1/30 ±0.005mm

slyz · 发表于 2017-7-23 18:34:04

设计完成后，进入制造环节。
质量控制繁琐但却必要，一些过程中的结果，就不上图了。
经过与制造、集成一番讨价还价，镜头终于装上了。
参考面的测试结果

slyz · 发表于 2017-7-23 18:35:02

设计完成后，进入制造环节。

质量控制繁琐但却必要，一些过程中的结果，就不上图了。

经过与制造、集成一番讨价还价，镜头终于装上了。

参考面的测试结果

slyz · 发表于 2017-7-23 18:35:46

开了低通滤波，面形达到PV0.046波长，RMS0.006波长。
结果达到了1/20 的标准。波前的结果以后在补上吧。

要是努努力，也可以做到1/40的。下图是一个口径160mm的球面加工结果，PV0.006波长。1/200波长，只是镜片的加工结果，集成出来的标准镜头可以达到1/40标准吧。

slyz · 发表于 2017-7-23 18:36:43

update · 发表于 2017-7-24 09:13:48

ds1234567 · 发表于 2017-7-24 22:51:48

做的挺好，原厂说1/10，基本达到1/14，你这干到1/21，真的挺好。好像装配还有一点应力，那三个红点。
f与c误差没给。
祝6寸装配成功。

slyz · 发表于 2017-7-25 19:59:52

谢谢各位，

请问 ds1234567 f与c误差指的是什么啊？

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