我也说两句,看大家能不能对我的说法指点两下: 以前刚入道时,并不知道太多,当时镀AR膜也是四层膜,基底不定. G/ (X)SIO2 (X)AL2O3 (X)ZRO2(OH-5) (X)MGF2 /A (X)为不同膜厚。 高折料两者任一皆可。 头两年都不加氧。用光控,但前期问题老出现在AL2O3上,正常情况下AL2O3走的比较快,一般1.2M的膜厚接近两分钟OK,但会出现突然走的很慢,且曲线变短,此种情况,十有八九则显示AL2O3镀多.后来将膜料定期更新,将用过一段时间的被熔表面取掉,镀前经过充分预熔,效果极有改善.(这个方法是我师付提出的,他叫杨俊) 两年后,这个膜系镀出片子发黄,刚才开始问题集中在OH-5要不要加氧,但经过不但试验,难以得到解决,包括改用进口膜料替代所有国产膜料.依然很糟糕,日方技术员也来到中国进行问题查找,基本上无斩获. 后来我偶用AL2O3加氧试验,情况有所好转,经过多次试给确定出其加氧量,解决了发黄问题. 从理论上讲应该是AL2O3发生了吸收,造成片子发黄透过降低. 现在我用的机子比较烂,电子枪是根本问题所在.AL2O3纯度似乎有问题,熔后表面有淡红色,刚全换的新料前几炉打开挡板真空度很理想,维持在-3帕.但是几炉过后,真空度不断上升,甚至挡板一打开,真空度上升到-2帕,接下镀会继续上升,1.5E-2Pa上升到3.5E-2Pa,有时能搞到4.0,还好现在客户要求不高,所久的AR膜都能被他们承认,但我从心理上却接受不了.但是现场又不愿意改善,认为客户能接受就行,不愿意折腾.也只好做罢. AL2O3 |